RND無塵室自動化傳輸

關於RND無塵室專用機械手臂，以及各類晶圓自動化傳輸裝置

產品特色：
台灣地區目前台積電tsmc遴選在內的，各類型機械手臂及自動化傳動裝置類，價格表現最具競爭力，最有工程品質的品牌，最適合新設備在產品規劃之初，列為未來6年內的使用規格，既使在半導體業者後段導入規格完之後，再回到前段仍然可以勝任。

產品手冊

半導體設備傳輸用機械手臂，12吋以及8吋

STD DUAL & STD SINGLE

濕製程設備晶圓傳輸用機械手臂

Dual Wet Robot
  • RND Flip Robot
  • RND - Edge Grip Robot & Edge Grip Aligner
  • 2 port EFEM + Single Arm WTR with Track+CCD Aligner
  • 4 port EFEM + Dual Arm Multi hlade WTR(4+1 blades)
  • Wet Robot; Overhang Scara WTR
  • Single Arm WTR with Scara arm with Cartesian Z axis

12吋FOUP傳輸機構

FHR
  • RND FHR (Foup Handling Robot) - Grip Type
  • RND FHR (Foup Handling Robot)
  • Foup Transfer Robot

半導體無塵室專用Pre-aligner

aligner,CCD (XYR),CCD (XZR),Edge Grip

面板業各式大型產品及玻璃板搬運用機械手臂

8매 Multi glass handling Robot (배경 out),18매 Multi glass handling Robot (배경 out),사진 075-1